@Clodius EHS - Comme j’ignore quelle marque de
machine par dépôt en couches minces avec magnétron vous
avez utilisez, il me sera difficile de vous répondre surtout si elle
a plusieurs fonctions. pulvérisation cathodique ? dépôt plasmas ?
gravurc source d’ions ? Tout dépend du type de chambre utilisé,
et il ne faut pas oublier le champ magnétique de l’alim.
Normalement la chambre est blindée surtout si on a des rayons X ce
qui est le cas avec un magnétron.
Pour
les EHS, vous trouverez sur mon sujet
312 quelques conseils et produits que vous pouvez acheter dans
les magasins de bricolage et lampes leds avec niveau de rayonnement très faible, par rapport à
des fluocompactes
qui n’auraient jamais du être autorisée à la vente pour plusieurs
raisons (voir sujet
198 et 205
sur mon site comlu).
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